半導体製造装置制御ソフトのタイトル

ようこそ!! システム開発室「半導体製造装置制御ソフト」コーナーへ



  わたしたちアドホクラットは、半導体(DRAM etc.!)製造装置のオンライン制御を、世界一のトップシェアを誇る某装置メーカーをはじめとする装置メーカーサイドに立って、およそ20年も手がけてまいりました!まずは、ベテランと呼ばれております!

  様々なFA制御のなかでも、超微細技術の集積たる半導体製造ラインは、「無人化」=「無塵化」という必要条件と、「歩留り向上」という十分条件の両立に向け、より精緻なオンライン制御が求められた空間なのです。

  そのため、当業界独自の"SECSプロトコル"が設定され、わたしたちもこれに精通し、駆使して開発に携わってきたわけです。

  「産業の米!」とも喩えられてきた半導体ですが、確かに、今日のパソコン普及には、半導体低廉化の成果が決定的条件であったはずです!そして、今後ますます進展する「携帯」用情報機器にとっては、さらに重要度が増します!

  なお同分野は、技術競争が激しい分、機密保護も厳しいため、わたしたちの開発作業の詳細を公開することができません。ただし、対装置通信制御、対ホスト通信につきましては、絶大なるご信頼をいただいてまいりました。ご了解ください。概要のみ下に記します。

  同分野の開発作業経験者および強く関心を抱く若い方々の問い合せを歓迎します!

  また、当領域での制御システム開発ご予定の装置メーカ様からのお問合せ、御見積依頼も歓迎いたします。なお、機密保持に関する契約も万全を期しておりますので、安心してご相談いただけるものと存じます。



《 弊社による半導体製造オンラインシステム領域の業務経歴概要 》

対 象 装 置
対応する
スタンダード
使 用 言 語
使 用 OS
(リアルタイムモニター)
得 意 分 野
CVD装置

エッチング装置

スパッタリング装置

レーザーマーキング装置

アニール装置

CMP装置

ウェハ搬送ロボット

液晶製造関連装置

カセット搬送ロボット

各種検査装置


E4 SECS−T

E5 SECS−U

E30 GEM

E37 HSMS

E39 OSS

E40 PJM

E84 PIO

E87 CMS

E90 STS

E94 CJM

■Latice-C

■MS-C

■VB

■VC++

■C#

■その他

■MS-DOS

■ELX-86M

■ELX-286

■WindowsNT4.0

■Windows2000

■WindowsXP

※各種コンバート

■各種半導体製造装置の通信制御全般

■装置−CimHOST間プロトコルコンバート

■装置−ロボット間のマテリアル搬送制御

■バーコードリーダーによるPCからの装置制御

■これら既存通信制御システムの「改造」

※当領域については、まず、大抵の案件に関してお役に立てると自負しております。当然のことながら、「機密事項」の保護に関しても問題ありません。スケジュール調整だけがネックとなるかもしれませんが、とにかくご相談ください!



※ 比較的わかりやすい開発事例を下記に紹介いたします。

《 開発事例−1 概念図 》

 GEM300スタンダードを持たない半導体製造装置に、PCを接続して、GEM300装置として、半導体製造工場に納入した事例。

半導体製造制御開発事例-1概念図



《 開発事例−2 概念図 》

 カセットタイプロードポートの装置と、SMIFローダーを組み合わせて、SMIF対応装置として、半導体製造工場に納入した事例。

半導体製造制御開発事例-2概念図



《 "改造"開発事例−1 概念図 》

 開発済み制御システムに手を加え、トータルスループットの向上を図るべく、装置内インデクサーをSLOT一枚おきに使用するように改造。

半導体製造制御改造開発事例-1概念図



《 "改造"開発事例−2 概念図 》

 ロードポートの一個を、ダミーウェハ専用ロードポートとして改造し、エッチング装置の運用に不可欠なダミークリーニングの自動化を実現。

半導体製造制御改造開発事例-2概念図